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静电吸盘
静电吸盘是我司创造技术的主要产品,也是最有自信的产品之一。
1.静电吸盘技术      
静电吸盘(ESC : Electrostatic chuck)
是通过给把持对象引力,在需要位置固定的工具。
同样的产品有:机械夹板(Mechanical clamp),真空吸盘(Vacuum chuck)。
所以采用以半导体制造装置和显示器制造装置为中心。
静电吸盘可以在真空环境下实用。半导体装置及显示器制造装置时单极性的
所以需要在真空情况下实用。所以需要在真空情况下实用。所以静电吸盘式半导体装置
和显示器制造装置中不可缺少的部件之一。
另外,薄膜太薄容易损坏构件,运送和过程的稳定把持要求变多,
均匀把持(非目标吸附),作为不给把持对象带来压力的一种工具,选择静电卡盘的越来越多了。
作为固定工具,我司建议机器手(系统操作装置)的把持结构,或加热器和冷却机构组合的温度控制用途等能广泛使用的产品,
特长
①清洁装置设备
静电吸盘根据磨损颗粒出现的减少,另外无可动部分,故能维持清洁度。在半导体制造装置和显示器制造装置中实用等。

②低损害

静电吸盘能给吸附面(电极面)均匀的吸力,真空吸盘一样与对孔部集中吸附力的方式不同,吸盘容易对薄的产品和造成变形的产品和带来压力。

③真空下也可以使用

吸附力不仅在空气中,真空中也能使用。空气和真空工序并用的设备也可采用。另外,根据低排气方式,多种设备均可使用。

 

④低功率

搬送晶片、玻璃等使用时,可使用1 W以下的电力(以真空吸附方式可把持1/10左右的电力)。

※根据大小和形状等因素而不同


3.工作原理

偶极型静电吸盘是对内部外加一对+、-电极电压,可通过电极表面到吸盘面感应层发生感应极化。

外加+电极一直上升的吸盘面也带电+,同样外加-电极一直上升的吸盘面也带电-。

发生这样的带电时,假如像硅晶片一样易极化的东西接近静电吸盘,会发生彼此相反电荷组的引力(coulomb力)。

这个引力就是静电吸盘的把持力。

因此,对于难极化的把持对象,或静电吸盘和把持对象的距离较大的情况下,一般都是把持力变得小的趋势。(请参考《静电吸盘的把持力数据》)

把持对象 ③(把持对象和静电吸盘间)电气引力作业

静电吸盘 ②(静电吸盘感应层)感应极化

控制电源 ①(静电吸盘电极)从控制电源到外加电压



4.把持力数据(参考值)

静电吸盘对于大致的物质都可得到把持力。然而,导电性的对象物把持力很大,绝缘性的对象物有难以得到把持力的倾向(请参照图)。

我司建议设计对于无论是导电性的对象物,或是玻璃和树脂薄膜等一般不易把持的绝缘性对象物能充分的获得把持力

※以上数据是玻璃把持用的静电吸盘例子。

5.主要用途

·半导体制造工序和显示器制造工序基板的把持

  (搬送用,贴合用,检查/测定用,温度控制用,其他)

·真空吸盘和Bernoulli吸盘对困难的,薄而易变形产品的把持

  (搬送用,贴合用,检查/测定用,温度控制用,其他)

6.产品例

外形尺寸 Φ300mm(左边尺寸以上也可选择对应)

把持对象物 硅晶片

构成材质 把持面:聚酰亚胺树脂 基材:铝合金

耐电压 DC±3.0kV 以上

推荐外加电压 DC±0.5kV ~ ±2.0kV

作业温度 ~60°C(联系使用180°C:最高200°C的耐热方式也可选择对应)

使用环境(氛围) 空气,真空

供电部 里面供电方式(可选择侧面供电方式)

平面度 10μm