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静电容量传感

根据静电容量变化的监测可以进行异常检测的薄型柔性传感器

1.静电容量传感技术

制造工序中针对搬送错误和对象物的破损,可事前检测搬送错误防止发生。
对象物混有异种材料的场合,如能机械地判别防止处理工序的选择错误,提高生产量。
插入我司非常薄的传感器,可检测对象物的有无和材质,装置情况的反馈。
用静电吸盘工序,可反馈装置高电压线上的静电容量。
建议根据客户用途的静电容量传感器。

2.单体型静电容量传感器
概要

检测电极板,扩音器,转换器配套使用。
应用静电吸盘的制造技术的检测电极板很薄,可轻松设置现有装置内。
检测电极板规格可为(耐热性200℃)。
信号电缆是使用机器电缆,设想弯曲部的设置。使用耐真空的电缆可设置真空装置内。
调整转换器的参考电压,可对对象物的状态识别结果进行数字输出。

调节器(PLC等)
标准
外形尺寸 查出部:W14mm×H0.3mm×D109mm
 扩音器:W32mm×H12mm×D30mm
 转换器:W50mm×H30mm×D77mm
 ※不含突起物

重量 约200g

检测对象物  SI晶片,金属薄片,各种导电体膜

材料构成 查处部:聚酰亚胺树脂
 扩音器:聚碳酸酯

输入电压 DC 24V

消费电力 0.8W typ

 0~65℃ (无结露)
动作温度 ※但查出部可对应最高温

输出数字 (电路设计)开集(NPN无接点型)

参考电压 2种(可独立设定)
3.插入型静电容量传感

概要

既可导入新静电吸盘系统,也可组入现有的静电吸盘系统的传感组合式。
无需改造设备,就可导入静电容量传感。
只要在高压电源和静电吸盘间插入传感组合,就可测量静电吸盘电极模式上的静电容量。
根据调整传感组合的参考电压设定所希望的界限值,可反馈作业状态给到控制机器。

传感组合   调节器(PLC等)
控制电源
静电吸盘
以前连接
标准
外形尺寸 W160mm×H85mm×D250mm
 ※不含突起物

重量 约900g

检测对象物  SI晶片,金属薄片,各种导电体膜

输入电压 DC 24V

耐电压 DC±2.0kV

消费电力 2.4W typ

动作温度 0~65℃ (无结露)

输出数字 (电路设计)开集(NPN无接点型)

参考电压 2种

  电源入力:MHV
高电压入输出  静电吸盘出力:MHV

4.查出例(SI晶片负荷检测)

静电容量传感是检测电极以及附近的状况变化作为静电容量变化而监测。

用插入型静电容量检测组合,检测出静电吸盘上的硅晶片状态的一个实例如下所示。

横轴是根据时间用插图来表示下面的静电吸盘和硅晶片的状态。纵轴是用电压,在各状态下根据静电容量检测组合所得出的静电容量的一种电压信号。

将静电吸盘(ESC)以硅晶片无状态为标准(0 V)、装载了硅晶片的状态,安装状态,无安装状态,监测再次从静电吸盘取下硅晶片的动作。如下表示状态可看见。

根据设定电源电圧可进行特定的模式检测和突发性的故障检测。

检测电压   可根据调整参考电压识别晶片状态
5.主要用途

·检测搬送工程中有无运送的对象物

·检测搬送工程中有无把持的对象物

·识别搬送工程中搬送时的对象物材质

·检测半导体制造过程中有无晶片

·检测半导体制造过程中晶片的弯曲

·检测半导体制造过程中的晶片带电